利用剪切式表面聲波(Shear Horizontal Mode Surface Acoustic Wave, SH-SAW)原理發展出高靈敏度的生物感測系統,利用36°YX-LiTaO3當作壓電材料進行黃光微影製程技術完成感測晶片,當偵測到生物分子造成質量變化導致表面聲波傳遞速度改變,藉此觀察後端頻率變化量判別生物分子接合量。
研究及成果
利用剪切式表面聲波(Shear Horizontal Mode Surface Acoustic Wave, SH-SAW)原理發展出高靈敏度的生物感測系統,利用36°YX-LiTaO3當作壓電材料進行黃光微影製程技術完成感測晶片,當偵測到生物分子造成質量變化導致表面聲波傳遞速度改變,藉此觀察後端頻率變化量判別生物分子接合量。